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高科技生產中的靜電控制
阿諾爾特.斯坦默, 管偉 博士
北京靜電培訓
專題二:用于半導體及平面顯示器生產之離子化和標準
概論
靜電問題-污染及靜電放電
為什么選用電離為控制靜電之方案?
生產環境和機臺內部電離化
空氣離子
核元素及X光電離
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雙極性空氣電離和絕緣體帶電
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放電時間的比較
電離產品可用性
選擇電離器的標準
電離器的性能測試
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生產環境機臺內部之電離化
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300毫米芯片廠內天花板式電離器
無塵室電離化
微型環境
在上載及下卸站之電離棒
濕法制程機臺中的電離棒
機臺上壓縮氣體性電離
高速甩干機中控制電荷
四點式電離棒
光罩存放器之出入口
在上載站的電離
扇型電離器在取放處理機
圓片廠電離器的安裝
在平面顯示器中的靜電控制問題
靜電來源:摩擦玻離片
靜電來源:滾動壓輾著的膠片
靜電來源:架臺上的產品
在微型環境和機臺中的電離化
玻璃板轉送器內的電離棒
典型的平面顯示器生產設備中電離器之設定
采用四點式電離棒中和玻離板
無塵室電離化
硬盤驅動器組裝線的電離化工作臺
硬盤驅動器組裝線的電離化工作站
靜電控制-振動漏斗中的材料
靜電控制-塑封之電離化
靜電控制-藥品的傳送
靜電吸引-導致稱重誤差
標準及技術指標
美國國家標準局靜電放電標準 ANSI ESD S20.20
S20.20 絕緣體及電離器
S20.20 方案之要求
2003年半導體國際科技指標
2003 國際技術指標~半導體生產
技術上要求-靜電
結論
如果要想在短時間內系統全面熟悉和掌握靜電知識,請參加我們組織的靜電培訓與咨詢,您將與國際國內著名的靜電專家面對面交流機會,從而解決您的實際問題。
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